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技術參數 |
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工作溫度[℃] |
500 - 1320 |
500 - 1320 |
最高淬火壓力(絕對值(zhi)) |
12 |
1.9 |
工作(zuo)真空度范圍[mbar] |
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低真空 |
10-1 |
10-1 |
高真空 |
10-4 |
10-5 |
有(you)效(xiao)工作(zuo)區(W x L x H) [mm] |
610 x 910 x 610 |
910 x 1220 x 910 |
最大裝(zhuang)爐量[kg] |
800 |
1350 |
加熱元件材料(liao) |
石墨 |
鉬 |
隔熱層 |
特殊石墨氈(zhan),可選擇(ze)覆蓋CFC |
鉬(mu)+不銹鋼 |
機械泵抽氣(qi)速(su)率[m3/h] |
200 |
300 |
羅茨泵抽氣速率[m3/h] |
500 |
1000 |
機械泵抽氣速率(可選)[m3/h] |
300 |
300 |
羅(luo)茨泵抽氣速率 (可選)[m3/h] |
1000 |
1000 |
擴(kuo)散泵抽(chou)氣速率(可選)[L/sec] |
10000 |
10000 |
維持泵(beng)抽氣(qi)速率(可選)[m3/h] |
4 |
32 |
控制系統 |
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總(zong)連接負(fu)荷[kVA] |
190 |
290 |
氣冷風機負荷[kW] |
115 |
75 |
最小水壓[bar] |
3.5 |
2.75 |
最(zui)大水流量(liang)[m3/h] |
40 |
50 |
溫度均勻性[℃] |
正負5度 |
正負(fu)5度(du) |