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技術參數 |
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工作溫度[℃] |
500 - 1320 |
500 - 1320 |
最(zui)高淬火(huo)壓力(li)(絕對(dui)值) |
12 |
1.9 |
工作真空(kong)度(du)范(fan)圍(wei)[mbar] |
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低真空 |
10-1 |
10-1 |
高真(zhen)空 |
10-4 |
10-5 |
有效工作區(W x L x H) [mm] |
610 x 910 x 610 |
910 x 1220 x 910 |
最大(da)裝爐量[kg] |
800 |
1350 |
加熱元件(jian)材料(liao) |
石墨 |
鉬 |
隔熱層 |
特殊石墨氈,可選(xuan)擇(ze)覆蓋CFC |
鉬+不銹(xiu)鋼 |
機械泵抽氣速率(lv)[m3/h] |
200 |
300 |
羅茨泵抽氣(qi)速率[m3/h] |
500 |
1000 |
機械泵(beng)抽氣速率(lv)(可(ke)選(xuan))[m3/h] |
300 |
300 |
羅茨泵(beng)抽氣速率(lv) (可選)[m3/h] |
1000 |
1000 |
擴散泵抽氣速率(可選)[L/sec] |
10000 |
10000 |
維持泵抽氣速(su)率(可選(xuan))[m3/h] |
4 |
32 |
控制系統 |
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總連接負(fu)荷[kVA] |
190 |
290 |
氣冷風機(ji)負荷[kW] |
115 |
75 |
最(zui)小(xiao)水(shui)壓(ya)[bar] |
3.5 |
2.75 |
最大水流量[m3/h] |
40 |
50 |
溫度均勻(yun)性[℃] |
正負(fu)5度 |
正負5度 |